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J-GLOBAL ID:200903064268520949
水素ガス検知素子
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992316430
Publication number (International publication number):1994148112
Application date: Oct. 30, 1992
Publication date: May. 27, 1994
Summary:
【要約】【目的】 本発明の目的は、水素ガスに対して高い感度と選択性を有するとともに、優れた応答性を示すガス検知素子を提供することにある。【構成】 本発明による水素ガス検知素子は、絶縁基板(1)と、一対の電極(3)と、In2O3からなる薄膜状ガス感応体(2)と、Pdからなる触媒(4)と、Si酸化物からなる部分被毒剤(5)と、から構成されたことを特徴とするものである。
Claim (excerpt):
絶縁基板と、一対の電極と、In2O3(酸化インジウム)からなる薄膜状ガス感応体と、Pd(パラジウム)からなる触媒と、Si(ケイ素)酸化物からなる部分被毒剤と、から構成された水素ガス検知素子。
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