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J-GLOBAL ID：200903064294955872
超高純度ガス制御用耐食性バルブ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
阿部 稔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992358528
Publication number (International publication number)：1994201064
Application date： Dec. 28, 1992
Publication date： Jul. 19, 1994
Summary：
【要約】【目的】 超高純度ガス制御用耐食性バルブにおけるベローズの耐孔食性及び耐すきま腐食性並びに耐酸性を著しく向上させる。【構成】 流入通路1と流出通路2とを有する弁筐体3内に、弁座4及び弁室5が設けられ、この弁室5内に、基端部側に前記弁座4に対向する弁体6を設けた弁軸7が配置され、前記弁軸7の基端部側と前記弁室5の開放側に嵌設固定されたベローズフランジ8との間に、ベローズ9を設けた超高純度ガス制御用耐食性バルブにおいて、前記ベローズ9の材質を、Ni50%以上、Cr14.5〜16.5%、Mo15.0〜17.0%、W3.0〜4.5%、Fe4.0〜7.0%、低炭素、低シリコンからなる合金で構成するか、又はNi50%以上、Cr20.0〜22.5%、Mo12.5〜14.5%、W2.5〜3.5%、Fe2.0〜6.0%、低炭素、低シリコンからなる合金で構成する。
Claim (excerpt)：
流入通路1と流出通路2とを有する弁筐体3内に、前記流入通路1の下流側に位置する弁座4を介して弁室5が設けられ、この弁室5内に、外部から弁の開閉操作が可能で基端部側に前記弁座4に対向する弁体6を設けた弁軸7が配置され、前記弁軸7の基端部側と前記弁室5の開放側に気密に嵌設固定されたベローズフランジ8との間に、気密保持状態で前記弁体6の開閉を可能にするためのベローズ9を設けた超高純度ガス制御用耐食性バルブにおいて、前記ベローズ9の材質を、Ni50%以上、Cr14.5〜16.5%、Mo15.0〜17.0%、W3.0〜4.5%、Fe4.0〜7.0%、低炭素、低シリコンからなる合金で構成したことを特徴とする超高純度ガス制御用耐食性バルブ。
IPC (4)：
F16K 25/04
, C22C 19/05
, F16J 3/04
, F16K 41/10
