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J-GLOBAL ID：200903064358675526

投影光学系のコマ収差を検出する方法

Inventor： 篠永 浩彦 ,  塚本 泉 ,  諸星 洋
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994177558
Publication number (International publication number)：1996022951
Application date： Jul. 06, 1994
Publication date： Jan. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】 投影光学系のコマ収差を簡単に検出することができる投影光学系のコマ収差を検出する方法を提供すること。【構成】 投影光学系のコマ収差を検出する方法において、前記投影光学系により投影したパターン像を前記投影光学系の光軸方向の1つ又は複数の位置で受像し、少なくとも1つのパターン像の前記光軸方向と直交する平面内の位置を検出することにより前記投影光学系のコマ収差を検出すること。

Claim (excerpt)：

投影光学系のコマ収差を検出する方法において、前記投影光学系により投影したパターン像を前記投影光学系の光軸方向の1つ又は複数の位置で受像し、少なくとも1つのパターン像の前記光軸方向と直交する平面内の位置を検出することにより前記投影光学系のコマ収差を検出することを特徴とする投影光学系のコマ収差を検出する方法。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G02B 27/18

FI (2)：

H01L 21/30 516 B ,  H01L 21/30 502 G