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J-GLOBAL ID：200903064422471212

ディスク成形金型及びディスク成形方法

Inventor： 香川 恵一 ,  石倉 一徳 ,  江川 英利
Applicant, Patent owner： 太陽誘電株式会社
Agent (1)： 吉田 精孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993039070
Publication number (International publication number)：1994246795
Application date： Feb. 26, 1993
Publication date： Sep. 06, 1994
Summary：

【要約】【目的】 成形歪及びクラウド発生を防止してディスク成形を良好に行えるディスク成形金型とディスク成形方法を提供すること。【構成】 スタンパ3を支持する可動側型板2にスタンパ3の外周部に至る吸引通路2bを形成し、該吸引通路2bにバルブ6を介して真空ポンプ7を接続してあるので、吸引通路2bを通じスタンパ3の外周部を可動側型板2側に吸引することで、スタンパ3を可動側型板2の上面に密着させ平滑度を持たせることができ、これによりスタンパ3の熱伝導率を均一にしてディスク基板Sを歪なく成形することが可能となり、またエアーギャップを原因としたディスク基板Sのスタンパからの部分剥離を防止してクラウド発生を無くすることができる。

Claim (excerpt)：

型板の一方に配置された環状スタンパの内・外周部を内周リングと外周リングで支持して成るディスク成形金型において、スタンパを支持する型板にスタンパの外周部に至る吸引通路を形成し、該吸引通路にバルブを介して吸引手段を接続した、ことを特徴とするディスク成形金型。

IPC (4)：

B29C 45/34 ,  B29C 33/10 ,  G11B 7/26 511 ,  B29L 17:00