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J-GLOBAL ID:200903064433296021

焦電型赤外線検知素子及び焦電型赤外線センサ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 中井 宏行
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997032254
Publication number (International publication number):1998002793
Application date: Feb. 17, 1997
Publication date: Jan. 06, 1998
Summary:
【要約】【課題】ポップコンノイズの発生を著しく軽減させた焦電型赤外線検知素子、赤外線センサを提供する。【解決手段】焦電体基板1の受光部3に、前三方向から取り囲むくり抜き孔2を形成した片持ち支持構造とした焦電型赤外線検知素子Aであり、くり抜き孔2は、焦電体基板1の実装条件などを考慮した解析を行うことによって、熱変化を加えたときに生じる応力集中を効果的に抑制出来る形状にしている。
Claim (excerpt):
焦電体基板の表、裏面に上、下一組の電極を形成して受光部となし、その受光部に赤外線を入射させて電荷を生じさせる構成とした焦電型赤外線検知素子において、上記受光部は、その前三方向を取り囲むくり抜き孔によって、上記焦電体基板の一部で片持ち支持された構造としている焦電型赤外線検知素子。
IPC (2):
G01J 1/02 ,  H01L 37/02
FI (2):
G01J 1/02 Y ,  H01L 37/02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 特開昭61-002025

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