Pat

J-GLOBAL ID：200903064444537365

金属酸化物薄膜形成基材の製造法

Inventor： 日高 敏雄 ,  川上 殷正 ,  牧之瀬 暁
Applicant, Patent owner： 三菱瓦斯化学株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991206408
Publication number (International publication number)：1993339742
Application date： Jul. 23, 1991
Publication date： Dec. 21, 1993
Summary：

【要約】【目的】 Mg, Mn, Pbほかの金属酸化物薄膜形成基材を提供する。【構成】 基材と Mg, Sr, Ba, Zn, Cd, In, Pb, Cr, Mn, Fe 及び Sn からなる群から選択した1種或いは2種以上の金属の酢酸塩およびパラジウムとを減圧下、 400°C以下で熱分解することを特徴とする金属酸化物薄膜形成基材の製造法

Claim (excerpt)：

基材と Mg, Sr, Ba, Zn, Cd, In, Pb, Cr, Mn, Fe 及び Snからなる群から選択した1種或いは2種以上の金属の酢酸塩およびパラジウムとを減圧下、 400°C以下で熱分解することを特徴とする金属酸化物薄膜形成基材の製造法