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J-GLOBAL ID：200903064483918104

質量分析計

Inventor： 高田 安章 ,  鍋島 貴之 ,  坂入 実
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998335256
Publication number (International publication number)：2000164169
Application date： Nov. 26, 1998
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：

【要約】【課題】プラズマイオン化質量分析計の測定精度を向上させる。【解決手段】プラズマ10のパラメータを計測器24により計測し、そのデータをもとにイオン源5、イオン光学系17あるいは質量分析器19を制御する。

Claim (excerpt)：

プラズマにより試料をイオン化するプラズマイオン源と、上記プラズマのパラメータを計測するための計測器と、上記プラズマイオン源によりイオン化された試料のイオンを質量分析するための質量分析器とを具備することを特徴とする質量分析計。

IPC (4)：

H01J 49/10 ,  G01N 21/73 ,  G01N 27/62 ,  H05H 1/00

FI (4)：

H01J 49/10 ,  G01N 21/73 ,  G01N 27/62 G ,  H05H 1/00 A

F-Term (14)：

2G043AA01 ,  2G043CA03 ,  2G043DA05 ,  2G043EA08 ,  2G043GA11 ,  2G043GB05 ,  2G043JA01 ,  2G043LA07 ,  2G043MA06 ,  5C038GG09 ,  5C038GH02 ,  5C038GH15 ,  5C038HH02 ,  5C038HH26