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J-GLOBAL ID：200903064514860320
イオン注入装置におけるビーム軌道の復元方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山本 惠二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993123369
Publication number (International publication number)：1994310082
Application date： Apr. 26, 1993
Publication date： Nov. 04, 1994
Summary：
【要約】【目的】 イオンビーム軌道のドリフトを検出しかつそれを自動的に復元することができるビーム軌道の復元方法を提供する。【構成】 ターゲットの前方にあるマスク22のスリット22aのX方向の両外側に複数のファラデーカップ42をX方向にそれぞれ並列配置して成るドリフト検出ファラデー44を設けておく。そしてこのドリフト検出ファラデー44を用いて、それを構成するファラデーカップ42のどの部分までイオンビーム2が入射しているかによってイオンビーム軌道のドリフト量およびドリフト方向を求め、このドリフト量がある規定値以上か否かを判定し、ドリフト量が規定値以上の場合は、それが規定値より小さくなるように、分析電磁石電源8の出力電流を自動的に調整する。これらの処理を制御回路48によって行う。
Claim (excerpt)：
イオンビームを射出するイオン源と、このイオン源からのイオンビームを偏向させて質量分析を行う質量分析電磁石と、この質量分析電磁石に電流を供給する分析電磁石電源と、質量分析電磁石からのイオンビームを、当該質量分析電磁石における偏向方向が含まれる面内においてX方向に電気的に走査するビーム走査手段と、このビーム走査手段の下流側に設けられていてイオンビームを通過させるX方向に細長いスリットを有するマスクと、このマスクの下流側に設けられた注入対象物であるターゲットと、このターゲットを前記X方向と実質的に直交するY方向に機械的に走査するターゲット駆動装置とを備えるイオン注入装置において、前記マスクのスリットのX方向の両外側に複数のファラデーカップをX方向にそれぞれ並列配置して成るドリフト検出ファラデーを設け、このドリフト検出ファラデーを用いて、それを構成するファラデーカップのどの部分までイオンビームが入射しているかによってイオンビーム軌道のドリフト量およびドリフト方向を求め、このようにして求めたドリフト量がある規定値以上か否かを判定し、ドリフト量が規定値以上の場合は、それが規定値より小さくなるように、前記分析電磁石電源の出力電流を自動的に調整することを特徴とするイオン注入装置におけるビーム軌道の復元方法。
IPC (3)：
H01J 37/317
, C23C 14/48
, H01L 21/265
