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J-GLOBAL ID:200903064518345331
液晶表示素子のカラムスペーサ用レジスト組成物
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
原 謙三 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002097720
Publication number (International publication number):2003021839
Application date: Mar. 29, 2002
Publication date: Jan. 24, 2003
Summary:
【要約】【課題】 液晶表示素子のカラムスペーサ用レジスト組成物を提供する。【解決手段】 一般式(1)で表されるバインダー樹脂、一般式(2)で表されるバインダー樹脂及びこれらの混合物よりなる群から選択されたバインダー樹脂10ないし40重量部と、エチレン不飽和結合を有する多官能性モノマー1ないし20重量部と、光開始剤1ないし10重量部と、エポキシ基を含むシリコン系化合物0.001ないし0.1重量部とを含有することを特徴とする。本発明に係るレジスト組成物は耐熱性に優れるだけでなく、液晶表示素子のカラムスペーサ形成時適切な厚さにパターン形成が可能で、平坦性、解像性、残膜率、パターン安定性が良好である。
Claim (excerpt):
一般式(1)【化1】(前記一般式(1)において、Xは水素原子またはメチル基であり、Y1は炭素原子数2ないし16のアルキル基またはヒドロキシアルキル基であり、Y2は下記化学式(I)ないし化学式(XX)【化2】【化3】【化4】(前記化学式(I)ないし化学式(XX)において、R1は水素またはメチル基、R2は炭素原子数1ないし10のアルキレングループ、R3は炭素原子数1ないし10の炭化水素の残留グループ、R4は水素またはメチル基、R5は炭素原子数1ないし10のアルキレングループであり、kは0ないし10の整数である。)で表される化合物から選択された何れか1つである。)で表されるバインダー樹脂、一般式(2)【化5】(前記一般式(2)において、重合単位Aはベンジルメタアクリレート、スチレン、α-メチルスチレン、イソボニルアクリレート、イソボニルメタアクリレート、ジシクロペンタニルアクリレート、ジシクロペンテニルメタアクリレート、ジシクロペンテニルアクリレート、ジシクロペンタニルメタアクリレート、ジシクロペンタニルエチルオキシアクリレート、ジシクロペンタニルエチルオキシメタアクリレート、ジシクロペンテニルエチルオキシアクリレート、ジシクロペンテニルエチルオキシメタアクリレートよりなる群から選択された何れか1つであり、Bはアクリル酸またはメタアクリル酸であり、Cはグリシジルメタアクリレート、ヒドロキシエチルメタアクリレート、ジメチルアミノメタアクリレート、アクリルアミドよりなる群から選択された何れか1つであり、前記一般式(2)のバインダー樹脂は重合単位A、B及びCの配列順序に拘束されないランダム共重合体である。)で表されるバインダー樹脂、及びこれらの混合物よりなる群から選択されたバインダー樹脂10ないし40重量部と、エチレン不飽和結合を有する多官能性モノマー1ないし20重量部と、光開始剤1ないし10重量部と、エポキシ基を含むシリコン系化合物0.001ないし0.1重量部とを含有することを特徴とする液晶表示素子のカラムスペーサ用レジスト組成物。
IPC (4):
G02F 1/1339 500
, G03F 7/027 511
, G03F 7/038 501
, G03F 7/075 501
FI (4):
G02F 1/1339 500
, G03F 7/027 511
, G03F 7/038 501
, G03F 7/075 501
F-Term (30):
2H025AA03
, 2H025AA04
, 2H025AA10
, 2H025AA18
, 2H025AB14
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025BC52
, 2H025BC53
, 2H025BC83
, 2H025BC84
, 2H025BC85
, 2H025BC86
, 2H025BC92
, 2H025BC93
, 2H025BD43
, 2H025CA00
, 2H025CC06
, 2H025CC17
, 2H025FA17
, 2H089LA09
, 2H089MA04X
, 2H089MA05X
, 2H089NA12
, 2H089QA06
, 2H089QA12
, 2H089QA14
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