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J-GLOBAL ID:200903064533894783
ダイヤモンド被覆物品とその製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
矢野 正行
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996195394
Publication number (International publication number):1997071498
Application date: Jul. 04, 1996
Publication date: Mar. 18, 1997
Summary:
【要約】【課題】被覆した切削工具において、(1)ダイヤモンド被膜の表面平滑性を高め、(2)ダイヤモンド被膜自体の耐摩耗性を高く維持し、且つ(3)ダイヤモンド被膜の耐欠損性を高める。(4)ダイヤモンド被膜の厚みが20μ以上に形成しても上記効果を維持した高寿命の耐摩耗物品を提供する。【解決手段】基材と、基材の表面に少なくとも20μの全厚に被覆、積層された複数の多結晶ダイヤモンド膜の層とから実質的になり、該各多結晶ダイヤモンド膜の層が、厚さ6-13μ、膜の面方向の平均結晶径3-7μで、表面に露出した(111)配向のダイヤモンド結晶子を有し、1333cm<SP>-1</SP>付近に現れるダイヤモンドのラマンピーク最大強度をI(D)、1200cm<SP>-1</SP>と1600cm<SP>-1</SP>の間に現れる非ダイヤモンドのラマンピーク最大強度をI(U)とするとき、I(U)/I(D)<0.2であることを特徴とするダイヤモンド被覆物品。
Claim (excerpt):
基材と、基材の表面に少なくとも20μの全厚に被覆、積層された複数の多結晶ダイヤモンド膜の層とから実質的になり、該各多結晶ダイヤモンド膜の層が、厚さ6-13μ、膜の面方向の平均結晶径3-7μで、表面に露出した(111)配向のダイヤモンド結晶子を有し、1333cm<SP>-1</SP>付近に現れるダイヤモンドのラマンピーク最大強度をI(D)、1200cm<SP>-1</SP>と1600cm<SP>-1</SP>の間に現れる非ダイヤモンドのラマンピーク最大強度をI(U)とするとき、I(U)/I(D)<0.2であることを特徴とするダイヤモンド被覆物品。
IPC (5):
C30B 29/04
, B32B 9/00
, C23C 16/26
, C23C 16/50
, B23B 27/14
FI (6):
C30B 29/04 X
, C30B 29/04 D
, B32B 9/00 A
, C23C 16/26
, C23C 16/50
, B23B 27/14 A
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
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人工ダイヤモンド被覆膜
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-330687
Applicant:日本精工株式会社
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特開平2-233592
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