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J-GLOBAL ID：200903064534518688

電子顕微鏡

Inventor： 植木 泰光 ,  佐藤 雄司
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立計測エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996247526
Publication number (International publication number)：1998092369
Application date： Sep. 19, 1996
Publication date： Apr. 10, 1998
Summary：

【要約】【課題】電子顕微鏡を用いた分析で、分析位置精度の向上、分析操作の自動化と簡便化である。【解決手段】電子線プローブを形成させる照射系2、基準点および複数の分析点の位置を記憶し、電子線プローブをその位置に一定時間保持し、一定時間ごとに基準点にもどす機能、および後述の画像のずれを補正するフィードバック機能を有した電子線偏向系、一定時間ごとに得られる基準点の画像を比較する画像比較装置12とそれらを統括制御するコンピュータ17、試料の像を取り込む画像入力装置と分析。

Claim (excerpt)：

電子線を発生させる電子銃部と前記電子線を拡大縮小する照射系、前記電子線を偏向する偏向系、それらの光軸上に置かれた試料の像を観察する手段を持つ電子顕微鏡において、複数の任意の分析位置を同時にまたは連続的に分析し、その間分析位置のずれを検出し、自動的に補正することを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (2)：

H01J 37/252 ,  H01J 37/22 502

FI (2)：

H01J 37/252 A ,  H01J 37/22 502 L