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J-GLOBAL ID：200903064553891861
荷電粒子光学鏡筒の調整方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997310621
Publication number (International publication number)：1999145042
Application date： Nov. 12, 1997
Publication date： May. 28, 1999
Summary：
【要約】【課題】 合焦点位置の候補が複数存在する場合も非点収差を正確に補正することができ、より高度な非点収差の補正及び焦点合わせを可能とする。【解決手段】 電子ビームを試料面上のマーク上に2次元的に走査して得られる2次元信号分布を、試料面上に該ビームを収束させるレンズの焦点距離が異なる複数の設定において求める工程と、該工程により得られた2次元信号分布のそれぞれのフーリエ変換の違いによって決定される第1の評価関数を用いて非点収差の方向を決定し、かつ第1の評価関数を処理して得られる第2の評価関数の焦点設定に対する変化より合焦点位置を求める工程とを含む電子光学鏡筒の調整方法において、第2の評価関数の値が非点収差がない場合の合焦点位置付近の2個所以上で合焦点位置の候補を与えるとき、そのうちの2個所でのフーリエ変換信号を用いて第1の評価関数を求め、これにより非点収差の方向を求める。
Claim (excerpt)：
荷電粒子ビームを試料面上のマーク上に2次元的に走査して得られる2次元信号分布を、試料面上に該ビームを収束させるレンズの焦点距離が異なる複数の設定において求める工程と、該工程により得られた2次元信号分布のそれぞれのフーリエ変換の違いによって決定される第1の評価関数を用いて非点収差の方向を決定し、かつ第1の評価関数を処理して得られる第2の評価関数の焦点設定に対する変化より合焦点位置を求める工程とを含むことを特徴とする荷電粒子光学鏡筒の調整方法。
IPC (4)：
H01L 21/027
, H01J 37/153
, H01J 37/21
, H01J 37/305
H01L 21/30 541 F
, H01J 37/153 Z
, H01J 37/21 Z
, H01J 37/305 B
