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J-GLOBAL ID：200903064560573123

静電浮上搬送装置及びその静電浮上用電極

Inventor： 樋口 俊郎 ,  ▲靭▼ 巨 ,  金本 学
Applicant, Patent owner： 財団法人神奈川科学技術アカデミー ,  三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 清水 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994048175
Publication number (International publication number)：1995257751
Application date： Mar. 18, 1994
Publication date： Oct. 09, 1995
Summary：

【要約】【目的】 リード部における電極の損傷がなく、最大吸引力及び浮上剛性を向上させ、的確に浮上体の搬送を行うことができる、信頼性の高い静電浮上搬送装置及びその静電浮上用電極を提供する。【構成】 静電浮上用電極10は、円形状の絶縁基板4上に分離帯11a,11bを挟んで、4等分に配置されている。これらの4つの扇状の電極10a,10b,10c,10dに正電圧と負電圧とが交互に印加される。また、電荷の集中を防ぐために、これらの扇状の電極10a,10b,10c,10dの角部にはRが形成されており、更に、扇状の電極10aの外側面にはリード線12aが、扇状の電極10bの外側面にはリード線(図示なし)が、扇状の電極10cの外側面にはリード線12cが、扇状の電極10dの外側面にはリード線12dがそれぞれ接続されている。

Claim (excerpt)：

静電吸引力を用いた浮上体の静電浮上搬送装置において、(a)正電圧が印加される電極と負電圧が印加される電極とを絶縁基板上に均等に分割して配置するとともに、それらの全ての電極の外側面から導出されるリード線を有する静電浮上用電極と、(b)該静電浮上用電極と対向する浮上体と、(c)前記静電浮上用電極と浮上体とのギャップを検出する変位センサと、(d)前記静電浮上用電極への印加電圧を制御する制御器と、(e)前記静電浮上用電極への電圧の印加により前記浮上体を静電吸引力により吸引して無接触状態で保持して搬送を行い、浮上体が予定された位置に至ると前記静電浮上用電極への電圧の遮断により前記浮上体を前記静電浮上用電極より離脱させることを特徴とする静電浮上搬送装置。

IPC (5)：

B65G 54/02 ,  B65H 5/00 ,  H01L 21/68 ,  H02N 1/00 ,  H02N 13/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平1-227453
  
• 特開平2-164288
  
• 静電浮上装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-192596   Applicant：セイコー精機株式会社