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J-GLOBAL ID：200903064575347391

光学装置の検査方法及び装置

Inventor：
馬込 伸貴

About 馬込 伸貴


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998239290
Publication number (International publication number)：1999142291
Application date： Aug. 25, 1998
Publication date： May. 28, 1999
Summary：
【要約】【課題】 被検物としての光学装置を通過した光束と、この光束の一部から生成される参照光との干渉光を検出する検査装置において、その干渉光の位相を高精度に検出する。【解決手段】 被検光学系3を通過した光束Lがプレート8に形成されたピンホール10上に点像を形成する。その点像からの計測光Lmと、その点像からの光束の内でピンホール10で回折された参照光Lrとの干渉光を観察系15で受光し、その干渉光によって形成される干渉縞を撮像素子20で撮像する。プレート8を光束Lを横切る方向、又は光束Lの光路に沿った方向に振動させることによってヘテロダイン干渉光を生成し、その干渉縞の各部の位相を高精度に検出する。
Claim (excerpt)：
光学装置を通った光束の波面検査を行う検査方法であって、被検物である光学装置に光束を通すステップと、前記光学装置を通った光束を運動中の回折要素に通して、前記光学装置を通った光束の一部から回折光を発生させるステップと、を具備してなることを特徴とする光学装置の検査方法。
IPC (4)：
G01M 11/00 ,  G01B 9/02 ,  G01J 9/00 ,  G01N 21/27
FI (4)：
G01M 11/00 T ,  G01B 9/02 ,  G01J 9/00 ,  G01N 21/27 H
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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