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J-GLOBAL ID:200903064604711294

光記録媒体用スタンパ原盤の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 渡辺 徳廣
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994335357
Publication number (International publication number):1996180470
Application date: Dec. 22, 1994
Publication date: Jul. 12, 1996
Summary:
【要約】【目的】 2P樹脂の硬化時の発熱により発生するオリジナル型と基板の反りを相殺させ、反りを抑え高面精度のレプリカを得ることができる光記録媒体用スタンパ原盤の製造方法を提供する。【構成】 プリフォーマットを有するオリジナル型と平坦な表面を有する基板の間に樹脂を封入し、硬化してレプリカを作製するスタンパ原盤の製造方法において、オリジナル型の熱膨張率をa1 (K-1)、厚みをt1 (mm)、基板の熱膨張率をa1′(K-1)、厚みをt1′(mm)としたとき、【数1】a1 ×t1 =a1′×t1′なる関係が成り立つ光記録媒体用スタンパ原盤の製造方法。
Claim (excerpt):
プリフォーマットを有するオリジナル型と平坦な表面を有する基板の間に樹脂を封入し、硬化してレプリカを作製するスタンパ原盤の製造方法において、オリジナル型の熱膨張率をa1 (K-1)、厚みをt1 (mm)、基板の熱膨張率をa1′(K-1)、厚みをt1′(mm)としたとき、【数1】a1 ×t1 =a1′×t1′なる関係が成り立つことを特徴とする光記録媒体用スタンパ原盤の製造方法。
IPC (3):
G11B 7/26 501 ,  B29C 41/12 ,  B29D 17/00

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