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J-GLOBAL ID：200903064623513398

位置検出装置

Inventor： 白石 直正
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996177603
Publication number (International publication number)：1998022207
Application date： Jul. 08, 1996
Publication date： Jan. 23, 1998
Summary：

【要約】【課題】 多波長LIA方式で格子状のマークの位置検出を行う場合に、検出光を形成する複数波長の光束の強度が互いに異なる場合であっても、正確な平均化効果によって高精度にそのマークの位置検出を行う。【解決手段】 異なる波長の3対の光束L1p,L1m,L2p,L2m,L3p,L3mを対物レンズ7等を介してウエハW上のアライメントマーク9に照射し、アライメントマーク9から発生する±1次回折光Ldを対物レンズ7等を介して光電検出器PDで受光し、光電検出器PDから出力される合成ビート信号Sig を周波数分離器20に通して、各波長毎のビート信号Sig1,Sig2,Sig3を分離し、これらのビート信号Sig1,Sig2,Sig3を用いて各波長毎にアライメントマーク9の位置を検出する。

Claim (excerpt)：

被検物上に形成された格子状の位置検出マークに対して、それぞれ互いにコヒーレントで所定の周波数差を有する第1及び第2の光ビームよりなり互いに波長の異なる複数対の光ビームを照射し、前記互いに波長の異なる複数対の光ビームのそれぞれについて、前記位置検出マークより所定の同一方向に発生する複数の回折光よりなる干渉光を受光し、該受光された干渉光に基づいて前記位置検出マークの位置を検出する位置検出装置において、前記位置検出マークに照射される前記複数対の光ビームの各対を互いに異なる周波数差で変調する変調手段と、前記互いに波長の異なる複数対の光ビームのそれぞれについて前記位置検出マークより発生する前記干渉光をまとめて受光する光電検出器と、該光電検出器による光電変換信号より前記変調手段における互いに異なる周波数差に対応した異なる周波数の複数の信号成分を抽出するフィルタ手段と、を備え、該フィルタ手段からの複数の信号成分に基づいて前記位置検出マークの前記異なる波長毎の位置を求めることを特徴とする位置検出装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00

FI (5)：

H01L 21/30 525 L ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 522 D ,  H01L 21/30 525 N ,  H01L 21/30 525 W