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J-GLOBAL ID：200903064664919064

基板上のテープを拡散パターニングするための方法および組成物

Inventor： ジョン ジェイムス フェルテン
Applicant, Patent owner： イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー
Agent (1)： 谷 義一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996139470
Publication number (International publication number)：1996302044
Application date： May. 08, 1996
Publication date： Nov. 19, 1996
Summary：

【要約】【課題】 この発明は、有機ポリマーテープの拡散パターニング法、および、この方法によるパターニングに特に適したポリマーテープ組成物を提供する。【解決手段】 この発明は、パターン化されていない第1の層を積層する張り合わせる工程と、有機酸あるいは塩基および可塑剤からなる溶液を含むパターン化された第2の層を前記第1の層に張り合わせる工程と、第2の層を加熱して第1の層のポリマーフィルムが可溶化されるようにする工程と、および層を洗浄して第1の層のパターン化された領域から可溶化されたポリマーを除去する工程とにより、有機ポリマー層にパターンを形成する方法、および、フィルム形成する可溶性あるいは分散性ポリマーと、可塑剤と、および揮発性有機溶剤とを含む拡散パターニング法において第1のパターン化されていない層におけるポリマーテープとして使用される組成物が提供される。

Claim (excerpt)：

有機ポリマー層にパターンを形成する方法であって、A.基板にポリマーテープをからなるパターン化されていない第1の層を積層することにより形成工程と、B.有機酸あるいは塩基および可塑剤からなる溶液を含むパターン化された第2の層を前記パターン化されていない第1の層に形成する工程と、C.前記パターン化された第2の層を加熱して下側の第1の層の領域へ有機酸あるいは塩基および可塑剤を浸透させ、それにより前記下側の第1の層の領域のポリマーフィルムを有機酸あるいは塩基と反応させることによって可溶化させる工程と、およびD.水または水溶液で前記層を洗浄して第1の層のパターン化された領域から可溶化されたポリマーを除去する工程と、という一連の工程を有することを特徴とするパターンを形成する方法。

IPC (4)：

C08J 7/04 ,  B05D 1/32 ,  C08L 1/28 LAG ,  C08L101/14 KAJ

FI (4)：

C08J 7/04 Z ,  B05D 1/32 A ,  C08L 1/28 LAG ,  C08L101/14 KAJ