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J-GLOBAL ID：200903064695283354

走査電子顕微鏡

Inventor： 伊東 祐博 ,  小笹 進
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993005615
Publication number (International publication number)：1994215716
Application date： Jan. 18, 1993
Publication date： Aug. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】試料の周囲のみを低真空として、微細形態を観察する走査電子顕微鏡において、低真空部(試料室)の圧力を1000Pa程度まで拡大させ、試料からの水等の蒸発を最小限に抑えること。【構成】鏡筒を二分して、電子銃室と試料室間にオリフィスで仕切られた中間室を設け高真空部とは異なる排管により油回転ポンプで排気するように構成する。【効果】低真空部(試料室)の圧力を1000Pa程度まで拡大させることが出来、水等を含む試料の蒸発を最小限に抑えて正しい観察を可能とした。

Claim (excerpt)：

試料室を低真空にする走査電子顕微鏡において、対物レンズ上部に、電子銃室とオリフィスで仕切られた中間室を設け、この中間室の排気を油回転ポンプで行なうように構成した排気系を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (2)：

H01J 37/18 ,  H01J 37/28