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J-GLOBAL ID：200903064698301060
薄膜アクチュエーテッドミラーアレイの製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大島 陽一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996338108
Publication number (International publication number)：1997184988
Application date： Dec. 18, 1996
Publication date： Jul. 15, 1997
Summary：
【要約】【課題】 その製造際、熱処理の効果を最小化し得る、光投射システム用のM×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーの製造方法を提供する。【解決手段】 接続端子214からなるアレイを有する能動マトリックス210を準備し、各接続端子214の上部に接触部216を形成し、能動マトリックス210の上部に薄膜犠牲層220を形成し、薄膜犠牲層220の上部に第1薄膜電極265、変形可能薄膜部255、第2薄膜電極245及び接触孔237を有する弾性部235を備える駆動構造200からなるアレイを形成し、薄膜犠牲層220を取り除いて、薄膜アクチュエーテッドミラー301からなるアレイ300を形成する。
Claim (excerpt)：
薄膜アクチュエーテッドミラーからなるアレイの製造方法であって、接続端子からなるアレイを有する能動マトリックスを準備する第1過程と、前記各接続端子の上部に接触部を形成する第2過程と、前記能動マトリックスの上部に薄膜犠牲層を形成する第3過程と、前記薄膜犠牲層の上部に第1薄膜電極、変形可能薄膜部、第2薄膜電極及び接触孔を有する弾性部を備える駆動構造からなるアレイを形成する第4過程と、前記薄膜犠牲層を取り除いて、前記薄膜アクチュエーテッドミラーからなるアレイを形成する第5過程とを含むことを特徴とする薄膜アクチュエーテッドミラーアレイの製造方法。
IPC (3)：
G02B 26/08
, G02B 5/08
, H04N 5/74
G02B 26/08 E
, G02B 5/08 C
, H04N 5/74 B
