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J-GLOBAL ID：200903064708663704

製造条件管理方法

Inventor： 松落 一徳
Applicant, Patent owner： 九州日本電気株式会社
Agent (1)： 内原 晋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991234258
Publication number (International publication number)：1993073575
Application date： Sep. 13, 1991
Publication date： Mar. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】生産工程、製造条件をコンピューターにより管理する方法において、製造条件を一元管理することにより、条件変更時の手間やミスを低減させることを目的とする。【構成】本発明の方法は、製造条件を、従来の多元配置から、コンピュータシステムにより一元化したことを特徴とする。【効果】製造条件の一元化により、条件変更における手間の削減、条件変更のスピード向上が期待出来る。

Claim (excerpt)：

生産工程における工程の手順,進度を管理するホストコンピュータと、前記ホストコンピュータと製造装置との間に接続され、ロットの識別,製造条件の決定および処理開始の指示を行なうプロセスコントローラと、前記プロセスコントローラに接続され製造条件を保持している記憶装置とを有するシステムにおいて、前記製造条件を外部記憶装置に一元的に保持、管理するようにしたことを特徴とする製造条件管理方法。

IPC (4)：

G06F 15/21 ,  B23Q 41/08 ,  G05B 19/05 ,  H01L 21/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-028806
  
• 特開昭54-109741
  
• 特開平3-026450