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J-GLOBAL ID:200903064727157720
光偏向器
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
三好 秀和 (外9名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999237769
Publication number (International publication number):2001066542
Application date: Aug. 25, 1999
Publication date: Mar. 16, 2001
Summary:
【要約】【課題】 全体としてのサイズが光反射ミラーのサイズに対してあまり大きくならない小型の光偏向器を提供する。【解決手段】 ベースに対して第1支持梁16を介して揺動自在に支持された第1振動部15と、この第1振動部15の上方の対向位置に間隔を置いて平行に配置され、且つ、第1振動部15に第2支持梁18を介して揺動自在に支持された第2振動部17と、第2振動部17の上面に設けられた第2光反射ミラー20と、第1振動部15に静電力を付与して揺動力を作用させるための第1電極21と、第2振動部17に静電力を付与して揺動力を作用させるための第2電極22とを備える。
Claim (excerpt):
ベースに対して第1支持梁を介して揺動自在に支持された第1振動部と、この第1振動部の上方の対向位置に間隔を置いて配置され、且つ、前記第1振動部に第2支持梁を介して揺動自在に支持された第2振動部と、前記第2振動部の上面に設けられた光反射ミラーとを備え、この光反射ミラーで光ビームを反射させることを特徴とする光偏向器。
IPC (2):
G02B 26/10 104
, G02B 26/08
FI (2):
G02B 26/10 104 Z
, G02B 26/08 E
F-Term (11):
2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ05
, 2H041AZ08
, 2H045AB13
, 2H045AB23
, 2H045AB38
, 2H045BA18
, 2H045DA32
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