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J-GLOBAL ID：200903064728143952

レーザ照射セル

Inventor： 安原 久雄 ,  岡野 輝雄
Applicant, Patent owner： 川崎製鉄株式会社
Agent (1)： 小林 英一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992177188
Publication number (International publication number)：1994018419
Application date： Jul. 03, 1992
Publication date： Jan. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】 レーザ照射による固体照射の気化または励起反応を利用する高周波誘導結合プラズマ発光分光分析装置や高周波誘導結合プラズマ質量分析装置に用いられるレーザ照射セルの改良技術を提供する。【構成】 固体試料1を収納したセル本体14と窓部13とから照射セル2を、試料1を保持する試料ホルダ15で着脱自在に支持し、セル本体14の下面がレーザ光LBの最適照射面の位置となるように調整するステージ17を備えるように構成することにより、試料形状の制約を削減し、試料交換時の試料照射面位置の再調整を不要とし、レーザ光焦点位置に対する試料照射面の位置決めを迅速かつ正確にし、さらに窓部の破損および汚染を抑制することを可能にする。

Claim (excerpt)：

レーザ発振装置からのレーザ光を固体試料に照射する窓部と、キャリアガスを導入するガス入口とエアゾルを導出するガス出口を設けたセル本体とからなり、レーザ照射によって固体試料を気化または励起して試料の分析を行う分析装置に用いられるレーザ照射セルであって、前記セル本体の底部を開放状態とするとともに、前記試料を保持する試料押さえ部を装着して前記セル本体を着脱自在に支持する試料ホルダと、前記セル本体の下面位置を調整するステージとを備えたことを特徴とするレーザ照射セル。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭63-113340
  
• 特開昭54-041791
  
• 特開昭61-140842