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J-GLOBAL ID：200903064744823149
光ファイバアレイ装置およびその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大垣 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992060455
Publication number (International publication number)：1993264868
Application date： Mar. 17, 1992
Publication date： Oct. 15, 1993
Summary：
【要約】【目的】 V字溝に整列させた光ファイバ相互間のピッチ精度を向上させ、さらにコア先端を凸レンズ状とし、LDアレイなどとの高精度結合を可能にするアレイを提供する。【構成】 シリコン基板のV字溝34に裸光ファイバ18を並べ、この上にAu/Snシートハンダ38をのせ、さらにこれに押さえ板40をのせ加熱してハンダを熔融して固定し、これを光ファイバに垂直な面で切断し、さらに切断面を研磨して、この研磨面をエッチングして先球光ファイバとする。
Claim (excerpt)：
(a)複数の並行したガイド溝付きシリコン基板、このガイド溝付きシリコン基板を覆うことのできるシリコンの押さえ板および裸光ファイバのそれぞれの少なくとも一方の端部側の部分をエッチング耐性を有する材料でメタライズ加工する工程と、(b)前記メタライズ加工されたガイド溝に、前記メタライズ加工された裸光ファイバを1本ずつ整列させ、この上にエッチング耐性を有する材料からなるシートハンダをのせ、さらにこの上に前記メタライズ加工された押さえ板をのせ、その後、この押さえ板を加熱して、前記シートハンダを熔融して裸光ファイバを前記ガイド溝に固定して、光ファイバアレイを形成する工程と、(c)この光ファイバアレイを裸光ファイバの整列方向に垂直な面で、裸光ファイバの端部に近い、メタライズ加工されている個所で切断した後、残った光ファイバアレイの切断面を研磨する工程と、(d)研磨した側の光ファイバアレイの先端部をフッ化水素酸系のエッチング液でエッチングして、光ファイバのコアの先端を凸レンズ状に形成する工程と、を含むことを特徴とする先球光ファイバアレイ装置の製造方法。
IPC (4)：
G02B 6/42
, G02B 6/24
, G02B 6/40
, H01S 3/18
