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J-GLOBAL ID：200903064765590985

光スキャナ装置

Inventor： 西川 英昭 ,  甲村 司 ,  大塚 義則
Applicant, Patent owner： 株式会社デンソー
Agent (1)： 足立 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995260408
Publication number (International publication number)：1997101474
Application date： Oct. 06, 1995
Publication date： Apr. 15, 1997
Summary：

【要約】【課題】 共振型の光スキャナ装置において、その振動系を常に共振周波数で駆動でき、しかも常に安定した走査角度が得られるようにする。【解決手段】 反射ミラー5を、所定軸周りに捩れ振動可能な振動系にて支持し、これを圧電ユニモルフ6,7を介して振動させると共に、その振動を圧電ユニモルフ8,9にて検出する。駆動回路40では、圧電ユニモルフ8,9からの検出信号を、位相シフタ50,ローパスフィルタ51からなる自励発振回路に入力して圧電ユニモルフ6,7に正帰還するための制御信号を生成すると共に、整流回路44,平滑回路45,差動増幅器46からなる制御回路にて、検出信号の振幅を一定にするための制御信号を生成し、これら各制御信号を掛け算器54で乗算した駆動信号にて圧電ユニモルフ6,7を駆動する。この結果、温度や圧力等に影響されることなく、反射ミラー5を常に一定の走査角度で駆動できる。

Claim (excerpt)：

光源から照射された光をミラ-部で反射して所定対象物に照射すると共に、該ミラ-部を振動させることにより該対象物を照射する光を所定方向に走査する光スキャナ装置であって、片持ち梁状に一端が固定されると共に、他端が弾性変形可能な連結部材を介して互いに連結され、駆動信号を受けて互いに逆方向に曲げ運動する一対の駆動手段と、片持ち梁状に一端が固定されると共に、他端が弾性変形可能な連結部材を介して互いに連結され、自己の曲げ運動に伴う変形量に応じた検出信号を発生する一対の検出手段と、前記各連結部材に連結され、前記駆動手段側の連結部材の周期的な変形により所定軸回りに捩れ振動すると共に、該捩れ振動の中心位置に前記ミラー部が形成された弾性変形部材と、前記検出手段からの検出信号を処理して、前記弾性変形部材を自身の共振周波数にて捩り振動させるための駆動信号を生成する、自励発振回路からなる駆動信号生成手段を有し、該駆動信号生成手段にて生成された駆動信号に応じて前記駆動手段を駆動する制御手段と、を備えたことを特徴とする光スキャナ装置。

IPC (4)：

G02B 26/10 101 ,  G02B 26/10 ,  G02B 7/198 ,  G06K 7/10

FI (4)：

G02B 26/10 101 ,  G02B 26/10 A ,  G06K 7/10 D ,  G02B 7/18 B