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J-GLOBAL ID：200903064778298744

反射防止膜

Inventor： 枇榔 竜二 ,  安藤 謙二 ,  鈴木 康之
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994011749
Publication number (International publication number)：1995218701
Application date： Feb. 03, 1994
Publication date： Aug. 18, 1995
Summary：

【要約】【目的】 吸収の小さい反射防止膜を提供すること。【構成】 空気側から基板側にかけて順に第1層〜第6層を備え、第1、第3、第5層が低屈折率層、第2、第4、第6層が高屈折率層より成り、高屈折率層がAl2 O3 を含み、低屈折率層がSiO2 を含み、波長248nmの光に対する前記低屈折率層と前記高屈折率層の屈折率を各々NL 、NH とする時、1.45≦NL ≦1.551.60≦NH ≦1.80を満たす。

Claim (excerpt)：

空気側から基板側にかけて順に、Al2 O3 を含む高屈折率層、SiO2 を含む低屈折率層を有し、波長248nmの光に対する前記低屈折率層と前記高屈折率層の屈折率を各々NL 、NH とする時、1.45≦NL ≦1.551.60≦NH ≦1.80を満たすことを特徴とする反射防止膜。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-333834
  
• 特開平3-012605
  
• 特開昭64-061702
  
• 特開昭64-061701