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J-GLOBAL ID：200903064780086746

電子ミクロ分析方式における標的領域をサンプル表面上に求める方式

Inventor： ポール・イー・ラーソン
Applicant, Patent owner： ザ・パーキン・エルマー・コーポレイシヨン
Agent (1)： 萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992086147
Publication number (International publication number)：1993101800
Application date： Mar. 10, 1992
Publication date： Apr. 23, 1993
Summary：

【要約】【発明の目的】 電子ミクロ分析装置において標的領域(20)をサンプル表面上に求める精度の高い装置を提供すること。【発明の構成】 サンプル表面上の標的領域を電子エネルギー分析器と分析検出器を備える電子ミクロ分析装置内で求める。電子銃(40)は入射電子のラスター走査ビームを表面全体に衝突させ、二次電子検出器はそれに対応して表面の走査電子顕微鏡映像を生成する信号を提供する。入射電子から発生した後方散乱電子は分析器内を通過して更にSEM映像上に重ね合わせられるもう一つの映像を生成し、別個のミクロ分析に付される標的領域を求める。特に絶縁サンプル表面の場合、映像は単一のラスター走査フレーム内で生成され、表面積とビーム電流は大きく電荷が蓄積されることなく映像を生成するに十分である。

Claim (excerpt)：

入射電子のラスター走査ビームを表面全体に衝突させて同表面から二次電子と標的電子を発生させる電子銃手段と、前記二次電子を受取りそれに対応する二次電子信号を発生させる二次電子検出手段と、標的電子を受取り前記標的領域から選択エネルギーを有する電子をパスさせる電子エネルギー分析手段と、前記パスした電子を受取りそれに対応する分析信号を発生する分析検出手段と、前記電子銃手段と関連し前記信号の各々を受取りそれぞれの映像を生成する処理手段と、から成る電子ミクロ分析装置におけるサンプル表面上に標的領域を求める方法において、前記処理手段と電子銃手段を共働させて表面の走査電子顕微鏡映像を生成させ、分析手段と、処理手段と、電子銃手段とを共働させて標的領域と関連する標的映像を生成し、同標的映像を走査電子顕微鏡映像上に重ね合わせることによって標的映像が標的領域の位置を表わすようにして表面上をミクロ分析することより成る前記方法。

IPC (4)：

H01J 37/22 ,  G01N 23/04 ,  H01J 37/252 ,  H01J 37/28