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J-GLOBAL ID：200903064792681674

走査型電子顕微鏡の自動ブライトネスコントラスト調整装置

Inventor： 秋田 一海
Applicant, Patent owner： 株式会社トプコン
Agent (1)： 土橋 皓
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992077115
Publication number (International publication number)：1994052817
Application date： Mar. 31, 1992
Publication date： Feb. 25, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】ブライトネスコントラストの手動調整に切換スィッチ群の手動切換操作及び調整後も切換スィッチ群を元に戻しておく手動操作を不要とする。【構成】手動により試料画像のブライトネス及びコントラストの調整を行う手動ブライトネスコントラスト調整手段31と、ブライトネス目標値及びコントラスト目標値を記憶する目標値記憶手段11、15と、ブライトネス及びコントラスト目標値に基づいて自動的に試料画像のブライトネス及びコントラスト調整を行う自動コントラスト調整手段14、12、13、16、17と、手動ブライトネスコントラスト調整手段が操作されているか否かを検出する操作検出手段33、34と、操作検出手段によって手動ブライトネスコントラスト調整手段のいずれかが操作されていることを検出したとき、自動ブライトネス調整手段及び自動コントラスト調整手段の両者の調整を停止する調整停止手段36とを有する。

Claim (excerpt)：

手動により試料画像のブライトネス調整を行う手動ブライトネス調整手段と、手動により試料画像のコントラスト調整を行う手動コントラスト調整手段と、ブライトネス目標値及びコントラスト目標値を記憶する目標値記憶手段と、前記ブライトネス目標値に基づいて自動的に試料画像のブライトネス調整を行う自動ブライトネス調整手段と、前記コントラスト目標値に基づいて自動的に試料画像のコントラスト調整を行う自動コントラスト調整手段と、前記手動ブライトネス調整手段又は前記手動コントラスト調整手段が操作されているか否かを検出する操作検出手段と、前記操作検出手段によって前記手動ブライトネス調整手段又は前記手動コントラスト調整手段のいずれかが操作されていることを検出したとき、前記自動ブライトネス調整手段及び前記自動コントラスト調整手段の両者の調整を停止する調整停止手段とを有することを特徴とする走査型電子顕微鏡の自動ブライトネスコントラスト調整装置。

IPC (2)：

H01J 37/22 ,  H01J 37/28