固体撮像装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：高橋敬四郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999287333
Publication number (International publication number)：2001111025
Application date： Oct. 07, 1999
Publication date： Apr. 20, 2001
Summary：

【要約】【課題】従来のVP-CCDにおいては、低コストの下に解像度を高めることが困難である。【解決手段】半導体基板の一表面上に電気絶縁膜を介して転送電極膜を形成し、当該転送電極膜に複数行、複数列に亘って多数個の開口部を形成し、このとき、偶数列を構成する開口部の各々を、奇数列を構成する開口部の各々に対し、各列内での開口部同士のピッチの約1/2、列方向にずらし、偶数行を構成する開口部の各々を、奇数行を構成する開口部の各々に対し、各行内での開口部同士のピッチの約1/2、行方向にずらし、さらに、開口部列の1列毎に、前記の開口部それぞれの下に形成された第1のポテンシャルウェルと当該第1のポテンシャルウェルの上流に隣接配置された第1のポテンシャルバリアとを有する電荷転送チャネルを配設する。

Claim (excerpt)：

半導体基板と、前記半導体基板の一表面上に電気絶縁膜を介して形成された転送電極膜と、前記転送電極膜に設定された感光部内に複数行、複数列に亘って形成された多数個の開口部であって、前記開口部列の各々および前記開口部行の各々が、それぞれ複数個の開口部によって構成され、偶数列を構成する前記複数個の開口部の各々が、奇数列を構成する前記複数個の開口部の各々に対し、各開口部列内での開口部同士のピッチの約1/2、列方向にずれ、偶数行を構成する前記複数個の開口部の各々が、奇数行を構成する前記複数個の開口部の各々に対し、各開口部行内での開口部同士のピッチの約1/2、行方向にずれている多数個の開口部と、前記半導体基板の一表面に形成された出力転送路であって、平面視上前記感光部の外側に位置する出力転送路と、前記複数の開口部列の1列に1本ずつの割合で前記半導体基板の一表面に形成され、各々が、前記開口部列の1列を構成している全ての開口部を一定の方向DV に平面視上横切って前記出力転送路に達している複数本の電荷転送チャネルであって、個々の電荷転送チャネルが、前記開口部それぞれの下に位置する第1のポテンシャルウェルを有するとともに、該第1のポテンシャルウェルの上流に隣接配置された第1のポテンシャルバリアを有する複数本の電荷転送チャネルとを具備した固体撮像装置。

IPC (4)：

H01L 27/148 , H01L 27/14 , H04N 5/335 , H04N 9/07

FI (6)：

H04N 5/335 F , H04N 5/335 U , H04N 9/07 A , H04N 9/07 D , H01L 27/14 B , H01L 27/14 D

F-Term (42)：

4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA12 , 4M118CA04 , 4M118CA08 , 4M118CA20 , 4M118DA03 , 4M118DA18 , 4M118DA20 , 4M118DA23 , 4M118DA32 , 4M118DB08 , 4M118DB11 , 4M118EA08 , 4M118EA17 , 4M118FA02 , 4M118FA06 , 4M118FA38 , 4M118GB11 , 4M118GC08 , 4M118GC09 , 4M118GD04 , 5C024BA01 , 5C024CA11 , 5C024EA04 , 5C024EA08 , 5C024FA12 , 5C024GA13 , 5C024GA22 , 5C024GA26 , 5C024GA51 , 5C024JA23 , 5C024JA31 , 5C065AA01 , 5C065AA03 , 5C065CC07 , 5C065DD05 , 5C065DD17 , 5C065EE05 , 5C065EE06 , 5C065EE07 , 5C065EE08

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (7)

特開昭58-111491
仮想ゲート単相CCD撮像素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-130612 Applicant：ソニー株式会社
特開平3-277083

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