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J-GLOBAL ID：200903064809129890
光走査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
市村 健夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993185431
Publication number (International publication number)：1995020401
Application date： Jun. 29, 1993
Publication date： Jan. 24, 1995
Summary：
【要約】【目的】 小型化され、簡単で且つ制御信号と光走査素子とが容易に同調可能な光遮断機構を具備した光走査型画像入力装置を提供する。【構成】 光走査を行うときは、駆動制御信号S1がガルバノメータミラー駆動手段8に出力して光走査が行われ、光束を遮断するときは、遮断信号発生手段10により遮断信号S2を選択するように指令すると、切換手段12が作動し遮断信号S2がガルバノメータミラー駆動手段8に出力してガルバノメータミラー2の振れ角度が大きくなり、光束は大きく偏角してマスク6により遮断される。
Claim (excerpt)：
光源から射出する光束の光路を所定の振れ角で偏角して試料面を走査させる走査手段と、前記光束を集光して前記光源の1次像を形成する集光レンズと、前記1次像を前記試料面に投影する投影レンズと、前記走査手段を駆動する駆動手段と、前記駆動手段を制御する駆動制御信号を出力する駆動制御信号発生手段とを具備する光走査装置において、前記1次像の像面上に配置され、前記所定の振れ角を超えて偏角した光束を遮断する遮断板と、前記駆動手段を制御し、前記走査手段を前記光束の光路を前記所定の振れ角を超えて偏角させるように駆動する、遮断信号を出力する遮断信号発生手段と、前記遮断信号と前記駆動制御信号とを切替える切替手段と、前記切替手段に切替信号を出力する切替信号発生手段とを具備することを特徴とする光走査装置。
IPC (2)：
G02B 26/10 104
, G02B 21/00
