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J-GLOBAL ID：200903064812448068

被洗浄物の洗浄及び乾燥方法

Inventor： 内野 正英 ,  渡辺 正夫
Applicant, Patent owner： ジャパン・フィールド株式会社
Agent (1)： 清水 修
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995239359
Publication number (International publication number)：1997075873
Application date： Sep. 19, 1995
Publication date： Mar. 25, 1997
Summary：

【要約】【課題】 被洗浄物に付着の洗浄液を迅速に乾燥する。また、被洗浄物に蒸発潜熱を与えるための加熱は、被洗浄物を加熱液中に浸漬する事により行う。そのため、被洗浄物と洗浄液との熱交換は従来方法とは異なり、液と固体との熱交換であるため、極めて迅速に行う事ができる。【解決手段】 加熱した洗浄液中に被洗浄物を浸漬する。この浸漬中に於ける被洗浄物の蓄熱量を、洗浄液との接触解除後の被洗浄物に残留する付着洗浄液が、減圧雰囲気に於いて全て蒸発できる以上の量とする。この蓄熱後、被洗浄物の洗浄液への浸漬状態を解除する。そして、被洗浄物を減圧雰囲気内に配置して減圧乾燥を行う。

Claim (excerpt)：

加熱した洗浄液中に被洗浄物を浸漬し、この浸漬中に於ける被洗浄物の蓄熱量を、洗浄液との接触解除後の被洗浄物に残留する付着洗浄液が、減圧雰囲気に於いて全て蒸発できる以上の量とした後、被洗浄物の洗浄液への浸漬状態を解除し、この被洗浄物を減圧雰囲気内に配置して減圧乾燥を行う事を特徴とする被洗浄物の洗浄及び乾燥方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭58-040481
  
• 真空洗浄方法と装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-246089   Applicant：株式会社日本ヘイズ
• 洗浄乾燥方法とその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-184647   Applicant：ティーエイチアイシステム株式会社
• モールドコイル
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-004436   Applicant：株式会社東芝
• 特開平3-269985