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J-GLOBAL ID：200903064850276890

半導体ウエハID認識装置及び方法

Inventor： 伊藤 嘉教 ,  山田 義明
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994088853
Publication number (International publication number)：1995296147
Application date： Apr. 26, 1994
Publication date： Nov. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】 この発明は、短時間で確実に識別子の認識を行うことができる半導体ウエハID認識装置及び方法を提供することを目的とする。【構成】 制御回路11が各製造工程毎に上位CPU4から半導体ウエハ7の表面に関する情報を受け取ると共にその情報に基づいて光源2の電圧あるいは電流を調節することにより受光器1が受ける反射光の強度を制御する。

Claim (excerpt)：

処理しようとする半導体ウエハに関する情報及び各製造工程に関する情報を有する上位コンピュータシステムと、半導体ウエハの表面を照明するための照明手段と、半導体ウエハからの反射光を受ける受光器と、前記受光器からの画像を処理して半導体ウエハ表面に形成されている識別子を認識する認識手段と、各製造工程毎に前記上位コンピュータシステムから情報を受け取ると共にその情報に基づいて前記受光器が受ける反射光の強度を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする半導体ウエハID認識装置。

IPC (2)：

G06T 1/00 ,  H01L 21/02

FI (2)：

G06F 15/64 325 G ,  G06F 15/64 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-153480
  
• 特開昭62-180486
  
• 特開平4-007678
  
• 特開平4-034666