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J-GLOBAL ID：200903064854894017

ガラスの被覆方法

Inventor： ケヴィン デイヴィッド サンダーソン
Applicant, Patent owner： ピルキントン パブリック リミテッド カンパニー
Agent (1)： 杉村 興作 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000563590
Publication number (International publication number)：2002522336
Application date： Jul. 29, 1999
Publication date： Jul. 23, 2002
Summary：

【要約】タングステンオキシハライドまたはタングステンクロライドおよび酸素源を含むガス流をガラス基板の表面上に向けて当てることを含む、タングステン酸化物の層でガラスを被覆する方法。好ましくは、酸素源はエステルを含み、特には3乃至6個の炭素原子を有するエステルである。ガス流は、フッ素ドープタングステン酸化物層を形成するために、付加的にフッ素源を含んでもよい。

Claim (excerpt)：

タングステンオキシハライドまたはタングステンクロライドおよび酸素源を含むガス流をガラス基板の表面に向けて当てることにより、ガラス基板の表面上にタングステン酸化物を含む被膜を析出する方法。

IPC (3)：

C03C 17/245 ,  C03C 17/34 ,  C23C 16/40

FI (3)：

C03C 17/245 Z ,  C03C 17/34 Z ,  C23C 16/40

F-Term (23)：

4G059AA01 ,  4G059AB13 ,  4G059AB14 ,  4G059AB17 ,  4G059AC06 ,  4G059EA01 ,  4G059EA02 ,  4G059EA05 ,  4G059EB00 ,  4G059GA02 ,  4G059GA04 ,  4G059GA12 ,  4K030AA02 ,  4K030AA03 ,  4K030AA04 ,  4K030AA14 ,  4K030AA17 ,  4K030BA42 ,  4K030CA06 ,  4K030FA10 ,  4K030JA01 ,  4K030JA10 ,  4K030JA12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭55-067547
  
• 特開昭55-067547