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J-GLOBAL ID：200903064855942317

マイクロアクチュエータ及びこれを用いたインクジェットヘッド

Inventor：
鳥羽 浩一

About 鳥羽 浩一


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992336388
Publication number (International publication number)：1994188472
Application date： Dec. 16, 1992
Publication date： Jul. 08, 1994
Summary：
【要約】【目的】 積層振動子をアクチュエータとするインクジェットヘッドのインク吐出効率、及び信頼性の向上を実現する。【構成】 積層圧電素子の圧力伝達部材と接合する面の活性部、また圧力伝達部材の積層圧電素子と接合する面が凹形状又は凸形状になっていることにより、積層振動子の活性部のみを圧力伝達部材と接合することができ、不活性部をも固定したときに比べ変位効率、信頼性に優れるマイクロアクチュエータ、及びこれを用いたインクジェットヘッドを構成する。
Claim (excerpt)：
圧電材料と導電材料とを交互に積層して成る積層圧電素子と、これと接合される圧力伝達部材とによって構成されるマイクロアクチュエータに於て、前記積層圧電素子の、前記圧力伝達部材と接合される端面が、凹形状又は凸形状になっていることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
IPC (3)：
H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055
FI (2)：
H01L 41/08 N ,  B41J 3/04 103 A
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (16)
  • 特開平1-115638
  • 特開平1-115638
  • 特開平4-057374
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