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J-GLOBAL ID：200903064856844580

マイクロミラー装置

Inventor： 番 政広 ,  紺野 伸顕
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 田澤 博昭 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998339970
Publication number (International publication number)：2000162538
Application date： Nov. 30, 1998
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：

【要約】【課題】 ミラー部の走査角度を制御可能な状態で大きくすることが困難であった。【解決手段】 所定の同一周波数の駆動電圧Va〜Vcが駆動電極9a〜9cにそれぞれ印加されるとともに、その駆動電圧Va〜Vcと逆相の駆動電圧Vd〜Vfが駆動電極9d〜9fに印加される。また、駆動フレーム7の電位は接地電位に設定される。このように駆動電圧Va〜Vfを印加すると、各駆動フレーム7がそれぞれのねじれ角θa〜θcで駆動し、被駆動フレーム2は、それらのねじれ角の総和の走査角度θsで駆動される。

Claim (excerpt)：

被駆動フレームに形成されたミラー部と、前記被駆動フレームの中央延長上に形成されたねじれ梁と、前記ねじれ梁の端部を支持し、基板に固定するアンカー部とを備えたマイクロミラー装置において、前記ねじれ梁の中間部に結合され、前記被駆動フレームの外側に形成された駆動フレームと、前記駆動フレームを駆動する駆動電圧を印加される駆動電極とを備えることを特徴とするマイクロミラー装置。

F-Term (3)：

2H045AB16 ,  2H045AB24 ,  2H045AB81