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J-GLOBAL ID：200903064859150024
湿式研磨テープ及びそれを用いた湿式研磨方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小西 淳美
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993067375
Publication number (International publication number)：1994254772
Application date： Mar. 04, 1993
Publication date： Sep. 13, 1994
Summary：
【要約】【目的】 湿式研磨を均一、高品質に行い、研磨処理の連続処理化、省力化ができる研磨テープ及び方法を提供する。【構成】 不織布や耐水性紙からなる繊維質基材の研磨テープ用基材と、その上に形成された研磨層とから構成された湿式研磨テープである。また繊維質基材の裏面にポリエチレンテレフタレート等の耐水性プラスチック基材を積層すれば、テープ強度の向上安定化、研磨屑等の裏ヌケ防止ができる。テープは巻取り状で連続的に供給し、テープに親水性研磨粒子を含んだ研磨液を付けて被研磨体に摺動すれば、従来のように研磨体の交換作業を頻繁に行うことなく、連続的な研磨ができ、省力化ができる。またクリーニングテープとしても使える。
Claim (excerpt)：
湿式研磨テープにおいて、繊維質基材から構成された研磨テープ用基材と、該研磨テープ用基材に形成された研磨層とからなることを特徴とする湿式研磨テープ。
IPC (4)：
B24D 11/00
, G11B 5/127
, G11B 5/84
, H01L 21/304 321
Cited by examiner (6)
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