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J-GLOBAL ID：200903064875093332

構造体、その製造方法、及び前記構造体を用いた電子デバイス

Inventor： 福谷 和彦 ,  田 透
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (2)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002340820
Publication number (International publication number)：2004179229
Application date： Nov. 25, 2002
Publication date： Jun. 24, 2004
Summary：

【課題】微細構造体及びその作製方法の提供する。【解決手段】膜状のアルミニウムゲルマニウム混合体100であって、アルミニウムを含み構成される柱状構造体1と該柱状構造体を取り囲むゲルマニウム領域2を有し、且つ該混合体100にはゲルマニウムが20atomic%以上70atomic%以下の割合で含まれていることを特徴とする。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

アルミニウムとゲルマニウムを含み構成される構造体であって、該アルミニウムを含み構成される柱状の部材が、該ゲルマニウムを含み構成される領域に取り囲まれており、該構造体には該ゲルマニウムが、該アルミニウムとゲルマニウムの全量に対して20atomic%以上70atomic%以下の割合で含まれており、且つ該柱状の部材の径が20nm未満であることを特徴とする構造体。

IPC (7)：

H01L29/66 ,  H01L21/314 ,  H01L21/8247 ,  H01L27/10 ,  H01L29/06 ,  H01L29/788 ,  H01L29/792

FI (6)：

H01L29/66 S ,  H01L21/314 A ,  H01L27/10 451 ,  H01L29/06 601D ,  H01L29/06 601L ,  H01L29/78 371

F-Term (24)：

5F058BA20 ,  5F058BB01 ,  5F058BB06 ,  5F058BC20 ,  5F058BF12 ,  5F058BJ01 ,  5F058BJ10 ,  5F083EP17 ,  5F083ER09 ,  5F083ER19 ,  5F083FZ01 ,  5F083GA09 ,  5F083GA27 ,  5F083HA02 ,  5F083HA06 ,  5F083HA10 ,  5F083PR22 ,  5F101BA41 ,  5F101BA52 ,  5F101BB02 ,  5F101BC01 ,  5F101BC11 ,  5F101BD02 ,  5F101BE07