Pat

J-GLOBAL ID：200903064878895642

ガスセンサ用センシング膜の製造方法

Inventor： 都外川 真志 ,  松葉 頼重 ,  三澤 嘉久 ,  後藤 英之 ,  大迫 雄久 ,  小田 正明 ,  齋藤 記庸 ,  鈴木 敏洋 ,  阿部 知行
Applicant, Patent owner： 株式会社デンソー ,  ハリマ化成株式会社 ,  株式会社アルバック
Agent (1)： 伊藤 洋二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002072343
Publication number (International publication number)：2003270184
Application date： Mar. 15, 2002
Publication date： Sep. 25, 2003
Summary：

【要約】【課題】 基材の上に、金属または金属酸化物からなる粒子を焼結してなるガスセンサ用のセンシング膜を製造する方法において、感度や応答性といったセンサ特性に優れたガスセンサ用のセンシング膜を簡便に形成できるようにする。【解決手段】 ナノメータオーダの粒子100、該粒子100の凝集を防止する分散剤110および焼結時に該分散剤110を捕捉する捕捉剤120を溶剤130中に混合させることにより、ペースト体140を作製し、このペースト体140を基材の上に塗布し、焼成することにより、センシング膜を形成する。

Claim (excerpt)：

基材(10)の上に、金属または金属酸化物からなる粒子を焼結してなるガスセンサ用のセンシング膜(40)を製造する方法において、ナノメータオーダの前記粒子、前記粒子の凝集を防止する分散剤および焼結時に前記分散剤を捕捉する捕捉剤を溶剤中に混合させることにより、ペースト体を作製し、このペースト体を前記基材の上に塗布し、焼成することにより、前記センシング膜を形成することを特徴とするセンシング膜の製造方法。

FI (2)：

G01N 27/12 A ,  G01N 27/12 C

F-Term (20)：

2G046AA11 ,  2G046AA13 ,  2G046AA19 ,  2G046AA24 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046BC04 ,  2G046BC05 ,  2G046BE03 ,  2G046DB05 ,  2G046DC14 ,  2G046EA02 ,  2G046EA04 ,  2G046FA02 ,  2G046FA03 ,  2G046FA04 ,  2G046FB02 ,  2G046FE39

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 基板型半導体式ガスセンサ及びガス検出器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-048394   Applicant：新コスモス電機株式会社
• ガスセンサおよび金属酸化物薄層表面状態制御方法。
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-281837   Applicant：三重県
• 金属間のロウ付け接合方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-325415   Applicant：ハリマ化成株式会社, 株式会社アルバック・コーポレートセンター