Pat

J-GLOBAL ID：200903064882612272

荷電粒子ビーム装置における信号積算方法および荷電粒子ビーム装置

Inventor： 山田 貢
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994029497
Publication number (International publication number)：1995240167
Application date： Feb. 28, 1994
Publication date： Sep. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】 試料を移動させても、像のボケが生じることなく、SN比良く画像信号の積算処理を行うことができる荷電粒子ビーム装置における信号積算方法と荷電粒子ビーム装置を実現する。【構成】 ステージ制御器7によりステージ9を駆動し、試料ステージ9と共に試料4を移動させる。アドレスオフセット信号xd,ydは、オフセット算出器20において、ステージ制御器7からのステージの移動量に対応した信号と、ビーム走査制御器6からの像倍率(電子ビームの偏向範囲の大きさ)に対応した信号とによって演算により求められる。このオフセット信号xd,ydはアドレスカウンタ17からの走査信号に基づく電子ビームの偏向位置に応じたアドレス信号(x,y)と、加算器21,22において加算される。この加算されたデータにより積算を行う画素データをフレームメモリー16から読み出す。

Claim (excerpt)：

荷電粒子ビームを試料上に集束するための集束レンズと、試料上の荷電粒子ビームの照射位置を走査するための走査手段と、試料への荷電粒子ビームの照射によって得られた信号を検出する検出器と、検出器の検出信号が記憶されるメモリーと、メモリーに記憶された映像信号を読み出して表示するための表示手段とを備えた荷電粒子ビーム装置において、検出信号をメモリーの各画素に記憶された信号と積算させるに際し、荷電粒子ビームの2次元的な走査範囲の大きさ、試料の移動量および検出信号が得られたときの荷電粒子ビームの偏向位置情報に基づいて、検出信号の積算すべき画素位置を決定するようにした荷電粒子ビーム装置における信号積算方法。

IPC (3)：

H01J 37/22 502 ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/28