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J-GLOBAL ID：200903064888397276

透明導電膜付き基板およびそれを用いた平面型表示素子

Inventor： 安崎 俊明
Applicant, Patent owner： 日本板硝子株式会社
Agent (1)： 大野 精市
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997340379
Publication number (International publication number)：1999174993
Application date： Dec. 10, 1997
Publication date： Jul. 02, 1999
Summary：

【要約】【課題】 表示素子用の銀層と誘電体層の積層体からなる透明導電膜で、耐アルカリ性および耐湿熱性等の化学的耐久性と酸エッチングによる微細電極加工性を併せ有する透明導電膜がなかった。【解決手段】 透明基板の主表面上に透明導電膜が被覆された透明導電膜付き基板であって、その透明導電膜を、基板側から誘電体層と金属層とがこの順に交互に(2n+1)層(nは1以上の整数)積層するにあたって、誘電体層の少なくとも最表面の層をインジウムとビスマスと亜鉛の複合酸化物の層とする構成とする。インジウムとビスマスと亜鉛の複合酸化物の金属酸化物換算重量比をIn2O3:Bi2O3:ZnO=98〜60:1〜40:1〜30とするのがよい。

Claim (excerpt)：

透明基板の主表面上に透明導電膜が被覆された透明導電膜付き基板において、前記透明導電膜は、基板側から誘電体層と金属層とがこの順に交互に(2n+1)層(nは1以上の整数)積層されてなり、前記誘電体層の少なくとも最表面の層がインジウムとビスマスと亜鉛の複合酸化物の層であることを特徴とする表示素子用透明導電膜付き基板。

IPC (7)：

G09F 9/30 336 ,  B32B 9/00 ,  B32B 15/04 ,  G02F 1/1343 ,  H01B 5/14 ,  H01J 5/08 ,  H05B 33/28

FI (7)：

G09F 9/30 336 ,  B32B 9/00 A ,  B32B 15/04 Z ,  G02F 1/1343 ,  H01B 5/14 A ,  H01J 5/08 ,  H05B 33/28