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J-GLOBAL ID：200903064903688240
ウエーハ立替え装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
内原 晋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991279527
Publication number (International publication number)：1993121523
Application date： Oct. 25, 1991
Publication date： May. 18, 1993
Summary：
【要約】【構成】キャリア台座6上に設けて駆動部4により移動と回転を行う押出ブロック3及びローラー2を有しており、キャリア台座6上に装着したキャリア5のウェーハ1を押出しブロック3とローラー2により回転させながらウェーハ1をキャリア5aの方へ移動してウェーハ1のオリエンテーションフラットの方向を揃えながらキャリア5aに立替えする。【効果】ウェーハの立替えとオリエンテーションフラットの方向を揃える動作を同時に実施することにより、ウェーハとキャリアのこすれを減らし、傷やクラックの発生を低減させる。
Claim (excerpt)：
ウェーハを装填した第1のキャリアと空の第2のキャリアを互に対向させて装着するキャリア台座と、前記キャリア台座上に設けて前記第1のキャリアの底部から前記第2のキャリアの方へウェーハを移動させる押出しブロックと、前記押出ブロックと同時に移動して前記ウェーハを回転させるローラーと、前記キャリア台座の下部に設けて前記押出しブロック及びローラーを駆動する駆動部とを備えたことを特徴とするウェーハ立替え装置。
Patent cited by the Patent：
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