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J-GLOBAL ID：200903064986801140

薄膜膜質評価方法および装置

Inventor： 鹿糠 幸雄
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立北海セミコンダクタ株式会社
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992330826
Publication number (International publication number)：1994174637
Application date： Dec. 11, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：

【要約】【目的】 フーリエ変換赤外分光光度計-赤外顕微鏡を用い、前記装置をコンピュータ制御することにより、赤外スペクトルとして得られる薄膜情報を得て、薄膜の膜質の均一化および不純物の存在を評価する。【構成】 薄膜膜質の均一性、および不純物の混入などを評価する薄膜膜質評価装置であって、自動制御可能な赤外顕微鏡試料ステージ1付き赤外顕微鏡と、薄膜の赤外スペクトルを測定するフーリエ変換赤外分光光度計2と、顕微鏡ステージの移動を制御し、前記赤外スペクトルの測定データを記憶し、解析を行うコンピュータ3とから構成され、薄膜膜質の均一化および不純物の存在を評価する。

Claim (excerpt)：

フーリエ変換赤外分光光度計および赤外顕微鏡を用いるウエハの薄膜膜質評価方法であって、顕微鏡ステージを駆動系でコンピュータ制御により任意の点に移動させ、フーリエ変換赤外分光光度計により移動した点における薄膜の赤外スペクトルを測定し、コンピュータにより任意の点における赤外スペクトルを記憶し、試料面内の物質の分布を解析して表示し、前記駆動系とフーリエ変換赤外分光光度計との連動により自動的に半導体ウエハ上に生成した薄膜膜質を解析することを特徴とする薄膜膜質評価方法。

IPC (3)：

G01N 21/35 ,  G06F 15/62 405 ,  H01L 21/66