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J-GLOBAL ID：200903064986984570

レジストパターンの欠陥検査装置及び欠陥検査方法

Inventor： 二階堂 勝
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 三澤 正義
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998319126
Publication number (International publication number)：2000146853
Application date： Nov. 10, 1998
Publication date： May. 26, 2000
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、カラー受像管のシャドウマスクの製造工程において、金属基体のレジストパターンをSN比の高い画像で取り込みレジストパターンの孔欠陥を精度良く効率的に検出できるレジストパターンの欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 金属基体11上に付したレジストパターンを形成するレジストが蛍光を発する波長域を有する光を前記レジストパターンに励起光として照射する励起光照射手段12と、この励起光照射手段12からの励起光を基に前記レジストパターンの励起光照射部分から発せられた蛍光をレジストパターン像として検出するCCDカメラ27と、CCDカメラ27により検出したレジストパターン像の信号を取り込んで演算処理し、前記金属基体上のレジストパターンの欠陥の有無を判別する画像処理ユニットとを有するものである。

Claim (excerpt)：

金属基体上に付したレジストパターンを形成するレジストが蛍光を発する波長域を有する光を、前記レジストパターンに励起光として照射する励起光照射手段と、この励起光照射手段からの励起光を基に前記レジストパターンの励起光照射部分から発せられた蛍光をレジストパターン像として検出する検出手段と、検出手段により検出したレジストパターン像の信号を取り込んで演算処理し、前記金属基体上のレジストパターンの欠陥の有無を判別する欠陥判別手段と、を有することを特徴とするレジストパターンの欠陥検査装置。

IPC (2)：

G01N 21/88 ,  H01J 9/14

FI (3)：

G01N 21/88 645 A ,  H01J 9/14 H ,  H01J 9/14 G

F-Term (13)：

2G051AA32 ,  2G051AA56 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051BA05 ,  2G051BB01 ,  2G051CA03 ,  2G051CB10 ,  2G051DA06 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051ED08 ,  5C027HH08