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J-GLOBAL ID：200903065036666625
反射型回折格子
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994166075
Publication number (International publication number)：1996015514
Application date： Jun. 24, 1994
Publication date： Jan. 19, 1996
Summary：
【要約】【目的】 反射特性と耐久性を向上させた反射型回折格子【構成】 基板1に紫外線硬化型樹脂のレプリカ層2を形成し、その表面にCr膜からなる第1の下地層3aと、金属酸化物膜からなる第2の下地層3bと、Al膜3cと、金属酸化物膜からなる保護層3dの4層によって構成された反射層3を設ける。第1の下地層3aはレプリカ層2との密着性を向上させ、かつ、第2の下地層3bとともにAl膜の腐蝕を防ぐ。
Claim (excerpt)：
基板と、その表面に積層された回折格子のレプリカ層と、該レプリカ層に被着された反射層を有し、前記レプリカ層が反応性硬化型樹脂によって作られており、前記反射層が、Cr膜からなる第1層と、金属酸化物膜からなる第2層と、Al膜からなる第3層と、金属酸化物膜からなる第4層によって構成されていることを特徴とする反射型回折格子。
IPC (2)：
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