低誘電率絶縁膜形成用水性分散液、低誘電率絶縁膜および電子部品

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小島清路
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000112668
Publication number (International publication number)：2001294815
Application date： Apr. 13, 2000
Publication date： Oct. 23, 2001
Summary：

【要約】【課題】電着により有機系の絶縁膜を形成する低誘電率絶縁膜形成用水性分散液、この水性分散液から得られた低誘電率絶縁膜、およびこの低誘電率絶縁膜を有する電子部品を提供する。【解決手段】本発明の低誘電率絶縁膜形成用水性分散液は、水性媒体中に、平均粒子径1μm以下かつ誘電率3以下の非成膜性微粒子と、重合性化合物および重合体の少なくとも一方からなる有機粒子とが分散しており、電着により絶縁膜を形成することを特徴とする。非成膜性微粒子としてはフッ素含有微粒子および架橋有機微粒子から選択された少なくとも一種が好ましい。有機粒子は、粒子表面に電荷を有し、ポリイミド系樹脂からなることが好ましい。この分散液から電着により形成される本発明の低誘電率絶縁膜は、誘電率が3以下であることを特徴とする。本発明の電子部品はこの低誘電率絶縁膜を備えることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

水性媒体中に、平均粒子径1μm以下かつ比誘電率3以下の非成膜性微粒子と、重合性化合物および重合体の少なくとも一方からなる有機粒子とが分散しており、電着により絶縁膜を形成可能であることを特徴とする低誘電率絶縁膜形成用水性分散液。

IPC (7)：

C09D201/00 , C08J 3/07 CER , C08J 3/07 CEZ , C09D 5/25 , C09D 5/44 , H01L 21/312 , H01L 21/768

FI (9)：

C09D201/00 , C08J 3/07 CER , C08J 3/07 CEZ , C09D 5/25 , C09D 5/44 A , H01L 21/312 B , H01L 21/312 A , H01L 21/90 P , H01L 21/90 S

F-Term (54)：

4F070AA55 , 4F070AB01 , 4F070AC79 , 4F070AD03 , 4F070AE30 , 4F070CA01 , 4F070CB03 , 4F070CB12 , 4J038CC012 , 4J038CC022 , 4J038CC082 , 4J038CD091 , 4J038CD122 , 4J038CG141 , 4J038CG142 , 4J038CH032 , 4J038CH122 , 4J038CH201 , 4J038CH261 , 4J038CJ052 , 4J038DB001 , 4J038DJ021 , 4J038DJ031 , 4J038DL031 , 4J038DL032 , 4J038KA03 , 4J038KA21 , 4J038MA08 , 4J038MA10 , 4J038NA17 , 4J038NA21 , 4J038PA19 , 4J038PB09 , 4J038PB11 , 4J038PC02 , 4J038PC03 , 4J038PC08 , 5F033RR21 , 5F033RR22 , 5F033RR23 , 5F033RR24 , 5F033SS30 , 5F033WW01 , 5F033WW09 , 5F033XX24 , 5F058AA10 , 5F058AC01 , 5F058AC02 , 5F058AC03 , 5F058AC04 , 5F058AC05 , 5F058AC10 , 5F058AF10 , 5F058AG01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開平4-033394
低誘電体形成材料および低誘電体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-187704 Applicant：ジェイエスアール株式会社
特開昭63-110795

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