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J-GLOBAL ID：200903065122176100

マイクロ圧電振動子

Inventor： 黒田 吉己
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996184905
Publication number (International publication number)：1998032454
Application date： Jul. 15, 1996
Publication date： Feb. 03, 1998
Summary：

【要約】【課題】圧電振動子形成後でも駆動回路領域の微細配線パタ-ン形成を可能とし、且つ所望形状の良好な特性を有する圧電振動子を再現よく得ること。【解決手段】本発明のマイクロ圧電体振動子は、圧電振動子と、この圧電振動子を駆動するための圧電振動子駆動回路を有するマイクロ圧電振動子において、基板の一方の面に上記圧電振動子を配置し、他方の面に上記圧電振動子駆動回路を配置し、更に上記圧電振動子の下部電極を上記孔部の底面に形成し、該孔部の斜面部に配線電極を形成したものである。

Claim (excerpt)：

圧電振動子と、この圧電振動子を駆動するための圧電振動子駆動回路を有するマイクロ圧電振動子において、基板の一方の面に上記圧電振動子を配置し、他方の面に上記圧電振動子駆動回路を配置したことを特徴とするマイクロ圧電振動子。

IPC (4)：

H03H 9/17 ,  B06B 1/06 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22

FI (4)：

H03H 9/17 Z ,  B06B 1/06 Z ,  H01L 41/08 D ,  H01L 41/22 Z