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J-GLOBAL ID:200903065127996300
ピンホール検査装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
小川 信一 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992173158
Publication number (International publication number):1994018445
Application date: Jun. 30, 1992
Publication date: Jan. 25, 1994
Summary:
【要約】【目的】 固体撮像素子を受光部に用いたイメージセンサ方式の特長を生かしつつ、光の透過性の高いシートにおける小径のピンホールを高精度に検出可能にしたピンホール検査装置を提供する。【構成】 測定対象となるシート4の一方に光源1を配置し、他方に固体撮像素子からなる受光部6を配置したイメージセンサ方式のピンホール検査装置において、シート4と光源1との間に偏光板3を配置し、シート4と受光部6との間に偏光板5を配置し、これら一対の偏光板3,5の偏光面のずれを20度以下にする。
Claim (excerpt):
測定対象となるシートの一方に光源を配置し、他方に固体撮像素子からなる受光部を配置したイメージセンサ方式のピンホール検査装置において、前記シートと前記光源との間および前記シートと前記受光部との間にそれぞれ偏光板を配置し、かつ該一対の偏光板の偏光面のずれを20度以下にしたことを特徴とするピンホール検査装置。
Patent cited by the Patent: