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J-GLOBAL ID：200903065166665108
走査型プローブ顕微鏡およびその制御方法およびプローブ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
志賀 富士弥
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993156410
Publication number (International publication number)：1995012825
Application date： Jun. 28, 1993
Publication date： Jan. 17, 1995
Summary：
【要約】【目的】 走査型プローブ顕微鏡において、精度が高く空間分解能の高い像を高速に観察できるようにする。【構成】 試料1と探針2a間の相対的位置を、ディジタルシグナルプロセッサ11により試料1の面内方向に変化させながら、試料1表面に垂直な方向に変化させる。この時に、レーザー発振器2cと光検出器2dにより試料1と探針2a間に働く力を検出し、これが最小となるバイアス電圧を、微分回路3dと比較器3eの合図で検出する。これにより、試料1表面に電荷が集まっていない状態での測定を可能にし、不均一性の激しい試料でもフィードバックループの応答速度の制限を受けることなく精度の高い像を高速に観察できるようにし、また、バイアス電圧の正負に依存して、試料1表面に集まる電荷の種類や、電荷の集まり方が異なったりする場合などでも、正確な電位の測定を可能にする。
Claim (excerpt)：
試料を載置する試料台と、先端が導電性である探針と、前記試料と前記探針間の相対的位置を前記試料の面内方向に変化させる走査制御部と、前記相対的位置を前記試料表面に垂直な方向に変化させるフィードバック制御部と、前記試料と前記探針の間にバイアス電圧を印加するバイアス電圧制御部と、前記試料と前記探針の間に働く力を検出する検出部を有する走査型プローブ顕微鏡において、前記試料と探針の間に働く力が、極小となる前記バイアス電圧を検出する手段を有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2)：
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