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J-GLOBAL ID：200903065167408664
円盤状記録媒体の製造装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993007021
Publication number (International publication number)：1994215412
Application date： Jan. 19, 1993
Publication date： Aug. 05, 1994
Summary：
【要約】【目的】 円盤状記録媒体の各種仕様に応じて、任意に、かつ簡単に光ビームの光束径を変えることができ、各種仕様に応じた円盤状記録媒体の原盤を容易に作製できるようにする。【構成】 円形基板2上に形成されたフォトレジスト膜3に、記録データに基づいて変調されたレーザ光L1 (L2 )を照射して、記録データに基づいたデータパターンを露光記録することにより、光ディスクの原盤を作製するレーザカッティング装置において、グルーブ光学系Gとこのグルーブ光学系Gからのレーザ光L1 を対物レンズOB側に導くミラーM3 との間にレーザ光L1 の径を可変にする光束径変換光学系GPOを設け、ピット光学系Pとこのピット光学系Pからのレーザ光L2 を対物レンズOB側に導くミラーM5 との間にレーザ光L2 の径を可変にする光束径変換光学系PPOを設けて構成する。
Claim (excerpt)：
円形基板上に形成されたレジスト膜に記録データに基づいて変調された光ビームを照射して、上記記録データに基づいたデータパターンを露光記録することにより、円盤状記録媒体の原盤を作製する円盤状記録媒体の製造装置において、上記光ビームの径を可変にする光束径変換光学系を有することを特徴とする円盤状記録媒体の製造装置。
IPC (3)：
G11B 7/135
, G11B 7/125
, G11B 7/26 501
Cited by examiner (7)
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