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J-GLOBAL ID:200903065190437850

直角回折エンコーダ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 浅村 皓 (外3名)
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):1996505758
Publication number (International publication number):1997505150
Application date: Jul. 10, 1995
Publication date: May. 20, 1997
Summary:
【要約】正確な一次元動作用好適位置検出システムは、90°位相が外れた2つのディジタル出力信号を提供する回折エンコーダを使用して実現される。これら2つの出力信号は、2つの物体の間の相対運動に相当する。この回折エンコーダは、光源、コリメータレンズ、マスク、回折格子、4つの光検出器、及び2つの比較器を含む。光源からの光は、コリメータレンズを通してコリメートされ、マスク内のアパーチャを選択的に通過させられ、回折格子によって回折され、4つの光検出器によって感知され、次いで比較器によって比較されて、2つのディジタル出力信号を生成し、これらの出力信号がマスクと回折格子との間の相対運動を表現する。
Claim (excerpt):
2つの物体の間の相対的位置を検出する光学エンコーダにして、 光ビームを発生する光源と、 前記光源からの光ビームを受けてコリメートした光ビームを発生するコリメータレンズと、 同じ長さをもった1つまたは複数のスリットが形成され、前記コリメートされた光ビームを選択的に通過させる開口部をもち、前記2つの物体の一方(第1の物体という)と物理的に関連しているマスクと、 前記マスクの開口部から出てくる前記コリメートされた光ビームを受けて、複数の透過、または反射回折光ビームを発生する回折格子であって、互いに並列関係に配列された第1と第2のパターンを有し、前記第1のパターンは、各対が2つの第1区画よりなる複数対の第1区画を該第1のパターン内にある共通の輪郭に沿って接続して形成され、前記第2のパターンは、各対が2つの第2区画よりなる複数対の第2区画を該第2のパターン内にある共通の輪郭に沿って接続して形成され、前記第1、第2区画の各々は前記スリットの長さに等しい区画長をもち、前記第1区画の各々は複数の等間隔に平行に延びる直線、またはテクスチャを含み、前記第2区画の各々は複数の等間隔に平行に延びる直線、またはテクスチャを含み、かつ前記第1のパターンと第2のパターンとが互いに前記区画長の半分に等しい距離オフセットするように構成され、かつ前記2つの物体の他方(第2の物体という)と物理的に関連する前記回折格子と、 前記複数の回折光ビームの中の第1、第2の回折光ビームを検出し、それに応答してそれぞれ第1、第2の光検出信号を発生するように位置決めされた第1、第2の光検出器と、 前記第1と第2の光検出信号を受けて、それに応答して第1のシステム出力を発生する第1の比較器と、 前記複数の回折光ビームの中の第3、第4の回折ビームを検出し、それに応答してそれぞれ第3、第4の光検出信号を発生するように位置決めされた第3、第4の光検出器と、 前記第3と第4の光検出信号を受けて、それに応答して前記第1のシステム出力と90度位相差のある第2のシステム出力を発生する第2の比較器と、 を備えた、前記光学エンコーダ。

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