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J-GLOBAL ID：200903065199709968
位置検出装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994106561
Publication number (International publication number)：1995311009
Application date： May. 20, 1994
Publication date： Nov. 28, 1995
Summary：
【要約】【目的】 対物光学系からの反射光の影響を低減させて、より高精度に位置合わせ用のマーク(ウエハマーク)の位置検出を行う。【構成】 レーザ光源1からのレーザビームLBが、シリンドリカルレンズ2、視野絞り3、第2対物レンズ4、偏光ビームスプリッターよりなる送受光分離プリズム5、第1対物レンズ7、1/4波長板6、ミラー16、及び投影光学系8を介してウエハマークWMに照射される。ウエハマークWMからの回折光が、投影光学系8、ミラー16、1/4波長板6、第1対物レンズ7、及び送受光分離プリズム5を介して光電検出器13A,13Bに入射する。第1対物レンズ7からの反射光15は送受光分離プリズム5を透過してレーザ光源1側に戻る。
Claim (excerpt)：
照明光を射出する光源と、該光源から射出された照明光を被検物上の位置検出用のマーク上に集光する対物光学系と、前記光源と前記対物光学系との間に配置され、前記被検物への照明光の光路と前記被検物からの照明光の光路とを分離する光分割器と、前記被検物で反射された後、前記対物光学系及び前記光分割器を介して分離される照明光を受光する光電検出手段と、を有し、該光電検出手段からの検出信号に基づいて前記位置検出用のマークの位置を検出する装置において、前記光分割器を偏光ビームスプリッターとし、前記対物光学系と前記被検物との間に前記照明光の偏光状態を変化させる偏光状態変換部材を設け、前記被検物で反射され、前記対物光学系を通って前記偏光ビームスプリッターに戻される照明光の偏光状態を、前記偏光状態変換部材を介して前記偏光ビームスプリッターから前記光電検出手段に導かれる偏光状態とすることを特徴とする位置検出装置。
IPC (2)：
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